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硅化硅微粉是以碳化硅为原料，通过粉碎设备而制成的。但碳化硅在冶炼，粉碎的过程中，不可避免的会混入各种杂质，这些杂质在碳化硅微粉使用过程中，会对其所加工的产品质量，制造的半导体器件的性能有很大的影响很大，增加制品的不良品率，降低加工品的表面加工质量等。因此，在生产碳化硅微粉时一定要解决去除其中所含杂质的问题。
碳化硅微粉的的杂质主要包括碳，三氧化二铁，三氧化二铝，氧化钙和氧化镁以及二氧化硅等。这些物质在碳化硅微粉做不同的用途时，分别产生不同的影响，其中以三氧化二铁为主。为了去除碳化硅微粉中的杂质，可在生产环节中采用加酸除杂质的方式，这种除杂质的方法成本低，除杂率高，深受碳化硅微粉厂家的喜爱。
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